| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0206136(A3) |
申请公布日期 |
1988.09.28 |
| 申请号 |
EP19860108001 |
申请日期 |
1986.06.12 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
FUJIWARA, TAKASHI PATENT DIVISION;TANOUE, RYOJI PATENT DIVISION |
| 分类号 |
H01L29/74;H01L21/332;H01L29/08;H01L29/744;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/306;H01L29/743 |
主分类号 |
H01L29/74 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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