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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR DEPOSITING PLURAL THIN FILM LAYERS ON A SUBSTRATE.
摘要
申请公布号 EP0211938(A4) 申请公布日期 1988.09.28
申请号 EP19860901593 申请日期 1986.02.06
申请人 HEWLETT-PACKARD COMPANY 发明人 BLOOMQUIST, DARREL, R.;DRENNAN, GEORGE, A.;LAWTON, ROBERT, J.;OPFER, JAMES, E.;JACOBSON, MICHAEL, B.
分类号 C23C14/14;C23C14/34;C23C14/56;C23C16/00;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
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