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经营范围
发明名称
PHOTOELECTRIC ENHANCED PLASMA GLOW DISCHARGE SYSTEM
摘要
申请公布号
EP0220481(A3)
申请公布日期
1988.09.28
申请号
EP19860112934
申请日期
1986.09.19
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
CUOMO, JEROME JOHN;GUARNIERI, CHARLES RICHARD
分类号
B01J19/08;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/31;H05H1/22;(IPC1-7):H05H1/22
主分类号
B01J19/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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