发明名称 |
Method for forming self-aligned emitters and bases and source/drains in an integrated circuit |
摘要 |
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申请公布号 |
US4774204(A) |
申请公布日期 |
1988.09.27 |
申请号 |
US19870057871 |
申请日期 |
1987.06.02 |
申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
HAVEMANN, ROBERT H. |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/033;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/74;H01L21/265 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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