发明名称 Method for forming self-aligned emitters and bases and source/drains in an integrated circuit
摘要
申请公布号 US4774204(A) 申请公布日期 1988.09.27
申请号 US19870057871 申请日期 1987.06.02
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 HAVEMANN, ROBERT H.
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/74;H01L21/265 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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