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发明名称
TEST SYSTEM FOR INTEGRATED CIRCUIT AND METHOD OF TESTING
摘要
申请公布号
EP0142366(B1)
申请公布日期
1988.09.07
申请号
EP19840307853
申请日期
1984.11.13
申请人
DATAPROBE CORPORATION
发明人
HENLEY, FRANCOIS J.
分类号
G01R31/26;G01R31/308;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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