ION BEAM FAST PARALLEL SCANNING HAVING DIPOLE MAGNETIC LENS WITH NONUNIFORM FIELD.

摘要

Une source d'ions fournit des ions qui passent au travers d'un aimant d'analyse d'une fente d'image et de lentilles quadripolaires magnétiques avant d'entrer dans un déflecteur de faisceau. Le faisceau d'ions dévié entre dans un champ magnétique établi par une lentille magnétique bipolaire de section rectangulaire dans des plans parallèles au plan du faisceau contenant le faisceau d'ions d'exploration, et ayant un entrefer de largeur variable dans un plan perpendiculaire au plan du faisceau qui établit un faisceau d'ions d'exploration parallèle. Le faisceau d'ions d'exploration parallèle entre dans une colonne d'accélération en forme de fente puis explore une cible.