发明名称 METHOD FOR OPTICAL INSPECTION INVOLVING LASER SPECKLE PATTERN INTERFEROMETRY
摘要
申请公布号 EP0251501(A3) 申请公布日期 1988.08.24
申请号 EP19870304864 申请日期 1987.06.02
申请人 NATIONAL RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION 发明人 TYRER, JOHN RAYMOND THE HAWTHORNS
分类号 G01B11/30;G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
地址