| 发明名称 |
PLAQUE-CIBLE POUR PULVERISATION CATHODIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2584741(B1) |
申请公布日期 |
1988.08.12 |
| 申请号 |
FR19860010059 |
申请日期 |
1986.07.10 |
| 申请人 |
BALZERS AG |
发明人 |
EDUARD RILLE, BERNHARD BRACHER ET ROBERT POLACEK;BRACHER BERNHARD;POLACEK ROBERT |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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