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发明名称 IMPROVED STEP-AND-REPEAT ALIGMENT AND EXPOSURE SYSTEM AND METHOD THEREFORE
摘要
申请公布号 EP0189869(A3) 申请公布日期 1988.08.10
申请号 EP19860100959 申请日期 1986.01.24
申请人 PHILLIPS, EDWARD H. 发明人 PHILLIPS, EDWARD H.
分类号 H01L21/30;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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