发明名称 CONTROL OF ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 JPS63193528(A) 申请公布日期 1988.08.10
申请号 JP19880007387 申请日期 1988.01.14
申请人 SIEMENS AG 发明人 KONRAATO HIIBAA
分类号 H01L21/302;G01R27/02;H01J37/32;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利