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发明名称
摘要
申请公布号	JPS63121433(U)	申请公布日期	1988.08.05
申请号	JP19870012576U	申请日期	1987.01.30
申请人		发明人
分类号	G01B15/00;H01J37/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/30	主分类号	G01B15/00
代理机构		代理人
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