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发明名称 PROCESS FOR DEPOSITING METALLIC COPPER
摘要
申请公布号 EP0135179(B1) 申请公布日期 1988.08.03
申请号 EP19840110261 申请日期 1984.08.29
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BAUM, THOMAS HALL;HOULE, FRANCES ANNE;JONES, CAROL RUTH
分类号 C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;H05K3/14;(IPC1-7):C23C16/18;C23C16/48 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
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