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发明名称
MODULAR SEMICONDUCTOR WAFER TRANSPORT AND PROCESSING SYSTEM.
摘要
申请公布号
EP0267233(A4)
申请公布日期
1988.07.27
申请号
EP19870903076
申请日期
1987.04.06
申请人
VARIAN ASSOCIATES, INC.
发明人
STARK, LAWRENCE, R.;TURNER, FREDERICK
分类号
B65G1/06;B65G47/91;C23C14/56;H01L21/677;(IPC1-7):B65G1/06
主分类号
B65G1/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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