发明名称 LIGHT-SENSITIVE REGISTRATION ELEMENT
摘要
申请公布号 EP0239782(A3) 申请公布日期 1988.07.20
申请号 EP19870102556 申请日期 1987.02.24
申请人 BASF AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WALLBILLICH, GUENTER, DR.;NEUMANN, PETER, DR.;HANSEN, GUENTER, DR.
分类号 G03C1/00;G03F7/004;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/02 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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