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发明名称 PARTICLE DETECTOR FOR WAFER PROCESSING EQUIPMENT AND METHOD OF DETECTING A PARTICLE
摘要
申请公布号 EP0231542(A3) 申请公布日期 1988.07.13
申请号 EP19860202212 申请日期 1986.12.08
申请人 HIGH YIELD TECHNOLOGY 发明人 BORDEN, PETER
分类号 G01N15/02;G01N21/51;G01N21/53;(IPC1-7):G01N15/02;G01N15/10;G01N21/47 主分类号 G01N15/02
代理机构 代理人
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