发明名称 UNFRAMED VIA INTERCONNECTION WITH DIELECTYRIC ETCH STOP
摘要
申请公布号 EP0241729(A3) 申请公布日期 1988.07.13
申请号 EP19870103759 申请日期 1987.03.16
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 KIM, MANJIN JEROME;GRIFFING, BRUCE FREDERICK;SKELLY, DAVID WILLIAM
分类号 H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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