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发明名称 Silicon wafer treatment trays
摘要
申请公布号 GB2199592(A) 申请公布日期 1988.07.13
申请号 GB19880000230 申请日期 1988.01.06
申请人 * INCO ALLOYS INTERNATIONAL INC;* APPLIED MATERIALS INC 发明人 GAYLORD D * SMITH;WEI KWANG * CHANG;CHARLES N * DORNFEST
分类号 C22C19/05;H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):C22C19/05;C23C8/16 主分类号 C22C19/05
代理机构 代理人
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