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发明名称
摘要
申请公布号
JPS63106054(U)
申请公布日期
1988.07.08
申请号
JP19860201861U
申请日期
1986.12.27
申请人
发明人
分类号
G01N23/22;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244
主分类号
G01N23/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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