| 发明名称 |
CHANGING RATE OF DEPOSITION OF METAL IN VACUUM EVAPORATION PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU574469(B2) |
申请公布日期 |
1988.07.07 |
| 申请号 |
AU19850043056 |
申请日期 |
1985.05.28 |
| 申请人 |
NISSHIN STEEL CO. LTD. |
发明人 |
YOSHIO SHIMOZATO;TETSUYOSHI WADA;KENICHI YANAGI;MITSUO KATO;HEIZABURO FURUKAWA;KANJI WAKE;ARIHIKO MORITA;NORIO TSUKIJI;TAKUYA AIKO;TOSHIHARU KITTAKA;YASUJI NAKANISHI |
| 分类号 |
C23C14/54;C23C14/24;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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