发明名称 VERFAHREN FUER DIE FERTIGUNG VON OPTOKOPPLERN
摘要
申请公布号 DE3735489(A1) 申请公布日期 1988.06.30
申请号 DE19873735489 申请日期 1987.10.20
申请人 MOTOROLA,INC. 发明人 D. MOYER,CURTIS
分类号 H01L31/12;H01L31/167;(IPC1-7):H01L31/12;H01L21/66;H01L31/18 主分类号 H01L31/12
代理机构 代理人
主权项
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