| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM ABTASTEN EINES WERKSTUECKES MIT EINEM STRAHL GELADENER TEILCHEN UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFUEHRUNG DES VERFAHRENS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH666141(A5) |
申请公布日期 |
1988.06.30 |
| 申请号 |
CH19830000885 |
申请日期 |
1983.02.17 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
ROBERTSON, DAVID ARTHUR;TURNER, NORMAN LEONARD |
| 分类号 |
H01J37/302;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265;H01J37/147 |
主分类号 |
H01J37/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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