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发明名称 ELECTRODE ASSEMBLY AND APPARATUS FOR THE SAME
摘要
申请公布号 JPS63147322(A) 申请公布日期 1988.06.20
申请号 JP19870238579 申请日期 1987.09.22
申请人 NORUDEIKO LTD 发明人 MAABUIN HAWAADO DEEBUISU
分类号 H01L21/302;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/11 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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