| 发明名称 |
RADIATION-SENSITIVE POLYIMIDE PRECURSOR COMPOSITION DERIVED FROM A DIARYL FLUORO COMPOUND |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG3088(G) |
申请公布日期 |
1988.06.17 |
| 申请号 |
SG19880000030 |
申请日期 |
1988.01.08 |
| 申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS & COMP. |
发明人 |
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| 分类号 |
C08F290/14;C08G73/10;C08L79/08;G03F7/037;(IPC1-7):G03C1/68;G03F7/10 |
主分类号 |
C08F290/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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