发明名称 Wafer cassette transfer mechanism
摘要
申请公布号 US4750857(A) 申请公布日期 1988.06.14
申请号 US19860859586 申请日期 1986.05.05
申请人 THE PERKIN-ELMER CORPORATION 发明人 KOCHERSPERGER, PETER
分类号 B65G47/52;H01L21/677;(IPC1-7):B65G65/00 主分类号 B65G47/52
代理机构 代理人
主权项
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