| 发明名称 |
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR EINGABE UND ENTNAHME VON HALBLEITERSCHEIBEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3740855(A1) |
申请公布日期 |
1988.06.09 |
| 申请号 |
DE19873740855 |
申请日期 |
1987.12.02 |
| 申请人 |
TERADYNE INC. |
发明人 |
EMMANOUEL PRENTAKIS,ANTONIOS |
| 分类号 |
B65H1/28;B23Q7/04;B65G1/00;B65G1/07;B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65H1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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