发明名称 CHARGED PARTICLE ENERGY ANALYZER
摘要
申请公布号 EP0120106(B1) 申请公布日期 1988.06.08
申请号 EP19830102947 申请日期 1983.03.24
申请人 KABUSHIKI KAISHA SHIMADZU SEISAKUSHO 发明人 YAMAUCHI, HIROSHI
分类号 H01J49/48;(IPC1-7):H01J49/48 主分类号 H01J49/48
代理机构 代理人
主权项
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