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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6379641(U)	申请公布日期	1988.05.26
申请号	JP19860172964U	申请日期	1986.11.11
申请人		发明人
分类号	H01L21/66;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/88	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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