| 发明名称 |
DEVICE FOR APPLYING PHOTORESIST LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SU1115137(A1) |
申请公布日期 |
1984.09.23 |
| 申请号 |
SU19833593223 |
申请日期 |
1983.04.26 |
| 申请人 |
N-PROIZV OB KOSMICHESKIKH ISSLEDOVANIJ PRI AN AZSSR |
发明人 |
YUSUF-ZADE ELMAR K,SU |
| 分类号 |
H01L21/312;B05C5/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/312 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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