发明名称 SILICON DIAPHRAGM PRESSURE CONVERTER
摘要
申请公布号 JPS5499585(A) 申请公布日期 1979.08.06
申请号 JP19780142367 申请日期 1978.11.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUDA YASUMASA;SHIMADA SATOSHI;YAMADA KAZUJI;YONEYAMA TAKAO;KIMURA KAZUMICHI;NAKAMURA KOUSUKE;MATSUOKA YOSHITAKA
分类号 H01L29/84 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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