发明名称 PROCEDIMENTO ED APPARECCHIO PER LA PRODUZIONE DI CRISTALLI DI SILICIO MEDIANTE ACCRESCIMENTO
摘要
申请公布号 IT1192791(B) 申请公布日期 1988.05.04
申请号 IT19790069384 申请日期 1979.12.12
申请人 CRYSTAL SYSTEMS INC 发明人 SCHMID FREDERICK;KHATTAK CHANDRA P
分类号 C30B29/06;C30B11/00;C30B17/00;H01L21/208;(IPC1-7):C01B/ 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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