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发明名称 WIRING STRUCTURE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6398134(A) 申请公布日期 1988.04.28
申请号 JP19860243100 申请日期 1986.10.15
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MACHIDA KATSUYUKI;HASHIMOTO CHISATO;OIKAWA HIDEO;KOBAYASHI TOSHIO;KIUCHI KAZUHIDE
分类号 H01L21/768;H01L21/31;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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