发明名称 WAFER SUPPORTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6230346(A) 申请公布日期 1987.02.09
申请号 JP19850168979 申请日期 1985.07.31
申请人 TOKUDA SEISAKUSHO LTD;TOSHIBA CORP 发明人 TOKURA TSUNEMASA;JO HIDETAKA;AIKAWA TETSUO;OSHIO KOSUKE
分类号 H01L21/683;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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