发明名称 PRODUCTION OF TRICHLOROSILANE
摘要
申请公布号 JPS6395109(A) 申请公布日期 1988.04.26
申请号 JP19860240201 申请日期 1986.10.11
申请人 MITSUI TOATSU CHEM INC 发明人 INOUE KAORU;MIYAGAWA HIROJI;ITO MASAYOSHI;KOIZUMI KIYOUGO;YANAGAWA NORIYUKI;MURAKAMI MASAMI
分类号 C01B33/107;B01J27/00;B01J27/08;B01J27/128 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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