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发明名称 METHOD OF FORMING MULTILAYER INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPS6390893(A) 申请公布日期 1988.04.21
申请号 JP19860235756 申请日期 1986.10.03
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 KOBAYASHI KENICHI
分类号 H01L21/768;H01L23/522;H05K3/46 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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