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发明名称
VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6389491(A)
申请公布日期
1988.04.20
申请号
JP19860233459
申请日期
1986.10.01
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
NAGAMI KIMIHIKO
分类号
C30B25/12;C30B25/14;H01L21/205
主分类号
C30B25/12
代理机构
代理人
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