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发明名称 SEMICONDUCTOR CRYSTAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6389492(A) 申请公布日期 1988.04.20
申请号 JP19860236432 申请日期 1986.10.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KUME ICHIRO;OTA YOICHIRO
分类号 C30B25/12;C30B25/14;H01L21/205 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
主权项
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