发明名称 PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6389683(A) 申请公布日期 1988.04.20
申请号 JP19860231179 申请日期 1986.10.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 HAKAMATA YOSHIMI;KUROSAWA YUKIO;NATSUI KENICHI;HIRASAWA KUNIO
分类号 C23F4/00;B01J19/08;H01L21/302;H01L21/3065;H01P5/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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