DRY ETCHING DEVICE AND ITS PRODUCTION,申请号JP19860231765-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	DRY ETCHING DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号	JPS6386879(A)	申请公布日期	1988.04.18
申请号	JP19860231765	申请日期	1986.09.30
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	SEKINE MAKOTO;OKANO HARUO
分类号	H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
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