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发明名称 ANNEALING METHOD BY IRRADIATION OF LIGHT BEAMS
摘要
申请公布号 EP0196082(B1) 申请公布日期 1991.01.02
申请号 EP19860104136 申请日期 1986.03.25
申请人 SONY CORPORATION 发明人 SUZUKI, TOSHIHARU;KASAHARA, JIRO;ARAI, MICHIO
分类号 H01L21/26;H01L21/268;H05B39/04 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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