发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6386425(A) 申请公布日期 1988.04.16
申请号 JP19860231504 申请日期 1986.09.29
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 YANASE SABURO
分类号 H01L21/225;H01L21/22;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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