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发明名称 WASHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6384029(A) 申请公布日期 1988.04.14
申请号 JP19860229060 申请日期 1986.09.27
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 SAKAI HIROYUKI;KAMIKAWA YUJI;YOSHIOKA KAZUTOSHI;MATSUMURA KIMIHARU
分类号 H01L21/302;B08B3/02;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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