发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR ELEMENT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6381982(A) 申请公布日期 1988.04.12
申请号 JP19860225948 申请日期 1986.09.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOBAYASHI MASAMICHI
分类号 H01L21/768;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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