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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM CRYSTAL LAYER
摘要
申请公布号
JPS6380521(A)
申请公布日期
1988.04.11
申请号
JP19860225192
申请日期
1986.09.24
申请人
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
发明人
CHO EIKI;HARATANAKA YUTAKA;YASUI HIDETOSHI
分类号
H01L21/20;H01L21/263
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
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