| 发明名称 |
DEVICE FOR DETECTING ABNORMALITY OF DISCHARGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6378532(A) |
申请公布日期 |
1988.04.08 |
| 申请号 |
JP19860221838 |
申请日期 |
1986.09.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SASAKI SHINJI;SAITO YUTAKA |
| 分类号 |
H01L21/66;C23C14/54;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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