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发明名称 INSPECTION OF CONTAMINATED FILM OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6378545(A) 申请公布日期 1988.04.08
申请号 JP19860221833 申请日期 1986.09.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 WATANABE MASAHIRO
分类号 H01L21/66;G01N21/00;G01N29/00;G01N29/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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