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发明名称 PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPS6377120(A) 申请公布日期 1988.04.07
申请号 JP19860222823 申请日期 1986.09.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HANAZAKI MINORU;NAKANISHI KOICHIRO;ODERA HIROKI;MINAMI TOSHIHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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