发明名称 MASK FOR VAPOR DEPOSITION AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPS6376859(A) 申请公布日期 1988.04.07
申请号 JP19860223068 申请日期 1986.09.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJITA SHINGO;KIKUCHI ISAKO;YAMAZOE HIROSHI;OTA ISAO
分类号 C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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