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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0793283(B2)	申请公布日期	1995.10.09
申请号	JP19910165285	申请日期	1991.06.11
申请人		发明人
分类号	H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/306	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
主权项
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