| 发明名称 |
Method of improving silicon-on-insulator uniformity |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4735679(A) |
申请公布日期 |
1988.04.05 |
| 申请号 |
US19870031809 |
申请日期 |
1987.03.30 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
LASKY, JEROME B. |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;H01L21/762;H01L21/764;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/08;H01L21/302;B24B1/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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