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发明名称 DISHED SUSCEPTOR
摘要
申请公布号 JPS6373614(A) 申请公布日期 1988.04.04
申请号 JP19860218322 申请日期 1986.09.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KIKUCHI MASAYUKI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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